您的位置：
網(wǎng)站首頁 > 科技創(chuàng)新 > 創(chuàng)新成果
喜訊 | 計量維修部獲榮省科技進(jìn)步二等獎
來源：
發(fā)布時間：2023年04月23日
瀏覽次數(shù)：
近日，河北省科學(xué)技術(shù)獎勵大會在石家莊召開。省委書記、省人大常委會主任倪岳峰等領(lǐng)導(dǎo)出席大會并為代表頒獎。產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院副院長趙瑞華作為科研院所代表受邀參加大會，計量維修部趙琳作為省科技進(jìn)步二等獎獲獎代表參會。
趙琳、李鎖印等人主持完成的“微納尺寸線距標(biāo)準(zhǔn)樣片的研制與定值”獲得省科技進(jìn)步二等獎。該項目面向半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)微納尺寸測量儀器的校準(zhǔn)需求，研制完成微納量級多量值復(fù)合型標(biāo)準(zhǔn)樣片，為微納尺寸參數(shù)測量準(zhǔn)確性提供了保障。在項目研究基礎(chǔ)上，編制并發(fā)布國家標(biāo)準(zhǔn)《微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板（幾何量）》1項，完善了國家微納米標(biāo)準(zhǔn)樣品體系，相關(guān)技術(shù)進(jìn)行了成果轉(zhuǎn)化。
長期以來，計量維修部立足研究院計量需求，持續(xù)開展前沿計量測試技術(shù)研究，在技術(shù)水平及保障能力提升方面取得較好成效。后續(xù)，部門也將在已有技術(shù)基礎(chǔ)上，進(jìn)一步做好成果推廣工作，助力研究院院及半導(dǎo)體行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展！
